Pyrolytický nitrid boru hraje roli v polovodičovém průmyslu
Aug 22, 2023
Pyrolytický nitrid boru (PBN) hraje klíčovou roli v polovodičovém průmyslu díky svým vynikajícím vlastnostem. PBN je vynikající tepelný vodič, stabilní při vysokých teplotách a vykazuje nízké dielektrické ztráty. Tyto vlastnosti z něj dělají ideální materiál pro různé kritické aplikace v polovodičovém průmyslu.
Za prvé, PBN se používá při výrobě epitaxních destiček. PBN čluny usnadňují růst epitaxních vrstev tím, že poskytují stabilní platformu pro substrát, který odolává vysokým teplotám a udržuje čisté prostředí. PBN také vykazuje vynikající tepelnou stabilitu a chemickou odolnost, což snižuje kontaminaci epitaxních vrstev během růstu.
Za druhé, PBN se používá k výrobě křemíkových plátků. PBN kelímky se používají k tavení a krystalizaci křemíku, který je výchozím materiálem pro výrobu křemíkových plátků. Tyto kelímky odolávají vysokoteplotním gradientům a snižují riziko kontaminace během procesu tavení.
Kromě toho se PBN používá také při výrobě vysoce výkonných tranzistorů. Substráty na bázi PBN poskytují stabilní a čistou platformu pro výrobu vysoce kvalitních tranzistorů. PBN substráty mohou také zvýšit výkon tranzistorů snížením parazitní kapacity a zvýšením tepelné vodivosti.
Celkově sehrál PBN zásadní roli ve vývoji polovodičového průmyslu. Jeho vynikající vlastnosti umožnily výrobu vysoce kvalitních epitaxních vrstev, křemíkových waferů a vysoce výkonných tranzistorů. Vzhledem k tomu, že poptávka po pokročilých polovodičích neustále roste, PBN nepochybně zůstane v nadcházejících letech klíčovým materiálem v tomto odvětví.
