KARBID KŘEMÍKU KANTILEVER KAŠE
Oblasti použití: V difúzních pecích a vysokoteplotních oxidačních difúzních pecích používaných v průmyslu výroby polovodičů k provádění tepelného růstu a oxidace křemíkových plátků je konzolová lopatka klíčovou součástí systému nakládání plátků, aby byla zajištěna jednotnost plátků a trubek pece pro více rovnoměrná difúze a oxidace. Konzolová pádla z karbidu křemíku se vyznačují vysokou pevností, vysokou čistotou, vysokou tepelnou vodivostí, žádnou porézností, odolností vůči kyselé a alkalické korozi, bez kontaminace při vysokých teplotách, dobrou stabilitou proti tepelnému šoku a vysokou nosností. V kombinaci s koeficientem tepelné roztažnosti podobným jako u povlaků LPCVD může použití konzolových lopatek z karbidu křemíku v LPCVD výrazně prodloužit cykly údržby a výrazně snížit kontaminaci.
Popis
Jednou z hlavních výhod suspenze karbidu křemíku je její schopnost poskytovat konzistentní a jednotné výsledky. Kaše je schopna zajistit hladký povrch a vynikající kvalitu povrchu, což zajišťuje, že obráběné díly jsou bez škrábanců, prasklin nebo jiných defektů.
Další výhodou suspenze karbidu křemíku je, že je šetrná k životnímu prostředí. Kaše neobsahuje žádné nebezpečné sloučeniny ani toxické chemikálie, díky čemuž je bezpečné používat a likvidovat.
Kromě toho je suspenze karbidu křemíku vysoce nákladově efektivní, protože významně snižuje plýtvání materiálem a dobu zpracování. Kaše je schopna odstraňovat materiál rychleji než tradiční techniky broušení a leštění, čímž se zvyšuje účinnost výrobního procesu.
